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1mm厚度铝板切割最小缝隙
1um线宽-透射光栅
3mm不锈钢切割沟道宽度126um
3英寸掩膜版
3英寸（线宽1um精度）掩膜版
4英寸掩膜版（1.5um高精）
5
5英寸掩膜版（1.5高精版）
7英寸（2um高精版）掩膜版
9英寸高精度掩膜版
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